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真空等離子清洗機在晶圓鍍膜工藝中的應用優勢

1. 高效清潔：

• 真空等離子清洗機能夠在短時間內完成晶圓表面的高效清潔，去除各種污染物，為鍍膜工藝提供清潔的基底。

2. 精準控制：

• 通過調節功率、氣體流量等工藝參數，可以精準控制等離子體的密度和反應速度，從而實現對晶圓表面處理的精準控制。

3. 環保節能：

• 真空等離子清洗機使用氣體作為清洗介質，無需使用大量的溶劑和化學試劑，減少了環境污染。同時，其清洗過程能耗較低，符合綠色制造的要求。

4. 廣泛適用性：

• 真空等離子清洗機適用于各種類型的晶圓和鍍膜材料，具有很強的通用性。