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等離子清洗的6點優(yōu)勢
等離子清洗的6點優(yōu)勢
2022-12-21
玻璃面板,常規(guī)清洗方法是先用清潔劑擦洗,再用酸、堿、有機溶劑超聲波清洗,工序復(fù)雜,耗時長,而且污染環(huán)境。如何借助經(jīng)濟且環(huán)保的科技技術(shù),清洗活化表面,提升親水性呢?今天我們就來說說,如何在低溫等離子體的
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等離子體物理及其材料處理
等離子體物理及其材料處理
2022-10-17
文章出自:物理學(xué)報氣體放電產(chǎn)生的等離子體是集成電路制備不可或缺的關(guān)鍵技術(shù),利用等離子體中活性粒子賦予的獨特的物理和化學(xué)特性,可為超大規(guī)模集成電路制備提供具有定向性、選擇性和納米級精細(xì)性的綠色先進(jìn)加工技
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等離子清洗在醫(yī)療產(chǎn)品上的應(yīng)用
等離子清洗在醫(yī)療產(chǎn)品上的應(yīng)用
2022-10-17
等離子體清洗的機理等離子體是部分電離的氣體,是物質(zhì)常見的固體、液體、氣態(tài)以外的第四態(tài)。等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身
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等離子清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
等離子清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
2020-10-10
文章出自公眾號:半導(dǎo)體濕化學(xué)工藝與設(shè)備隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán),其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率
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