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微波等離子清洗機(jī)
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編號(hào) 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 項(xiàng)目 固態(tài)源版本/磁控管版本
2 輸出功率 250W×8/1.25kW×2
3 輸出頻率 2400MHz-2500MHz可調(diào)節(jié)/2450MHz±25MHz
4 頻率誤差 ±50ppm/1-2%
5 微波泄露 ≤2mW/cm2
6 冷卻方式 水冷
7 工藝氣體 Ar、O2、H2、CF4等
8 等離子處理面積 0.19m2/0.15m2
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