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實驗用真空等離子設備PR10L
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編號 內容 規格參數
1 機臺整機規格 650mm(W)×550mm(D)×450mm(H)
2 真空室規格 進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm,10L
3 電極板規格 專用鋁電極 150(L)×150(W)mm
4 真空泵系統 機械旋片真空泵(外置)
5 真空測定系統 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統 可調節浮子流量計
7 氣體路數 2路進氣,1路放空
8 等離子發生器 40KHz,高頻發生源,0-1000W可調
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點:高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持
適用于高校實驗室、半導體IC領域,體積較小的產品的表面情急與活化。

用 途:適用于攝像頭及行業,手機制造、半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。
1、攝像頭、指紋識別行業:軟硬結合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
2、半導體IC領域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
3、硅膠、塑膠、聚合體領域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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