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實(shí)驗(yàn)用真空等離子設(shè)備PR10L
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編號(hào) 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格 650mm(W)×550mm(D)×450mm(H)
2 真空室規(guī)格 進(jìn)口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm,10L
3 電極板規(guī)格 專用鋁電極 150(L)×150(W)mm
4 真空泵系統(tǒng) 機(jī)械旋片真空泵(外置)
5 真空測定系統(tǒng) 皮拉尼電阻式真空計(jì)
6 氣體計(jì)量系統(tǒng) 可調(diào)節(jié)浮子流量計(jì)
7 氣體路數(shù) 2路進(jìn)氣,1路放空
8 等離子發(fā)生器 40KHz,高頻發(fā)生源,0-1000W可調(diào)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點(diǎn):高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持
適用于高校實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,體積較小的產(chǎn)品的表面情急與活化。

用 途:適用于攝像頭及行業(yè),手機(jī)制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
1、攝像頭、指紋識(shí)別行業(yè):軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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