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在線式真空等離子設備 PR-IL05-D
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內置2條軌道,可一次處理2片物料, UPH可達120載板/小時;
3、所有運動機構均采用成熟運動方案,設備穩定性及故障率得以有效控制。
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編號 內容 規格參數
1 整機規格 1400*1400*2150mm(包含FFU及報警指示燈等)
2 單次處理數量 2片載板
3 腔體軌道長度 260mm
4 腔體軌道寬度兼容范圍 70-110mm
5 腔體內尺寸 395*280*65mm
6 設備產能 120載板/小時
7 CT 60秒
8 LOAD&UNLOAD 不具備
9 掃碼 進出掃碼載具二維碼
10 凈化防護 百級FFU凈化過濾系統
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內置2條軌道,可一次處理2片物料, UPH可達120載板/小時;
3、所有運動機構均采用成熟運動方案,設備穩定性及故障率得以有效控制。

用 途:IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗
在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規等離子清洗系統相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。
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