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在線式真空等離子設(shè)備 PR-OL05-LR
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內(nèi)置3條軌道,可一次處理3片物料, UPH可達180載板/小時;
3、所有運動機構(gòu)均采用成熟運動方案,設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。
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編號 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 整機規(guī)格 1500*2000*2150mm(包含F(xiàn)FU及報警指示燈等)
2 單次處理數(shù)量 3片載板
3 腔體軌道長度 380mm
4 腔體軌道寬度兼容范圍 100-248mm
5 腔體內(nèi)尺寸 974*400*65mm
6 設(shè)備產(chǎn)能 180載板/小時
7 CT 60秒
8 LOAD&UNLOAD 不具備
9 掃碼 進出掃碼載具二維碼
10 凈化防護 百級FFU凈化過濾系統(tǒng)
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內(nèi)置3條軌道,可一次處理3片物料, UPH可達180載板/小時;
3、所有運動機構(gòu)均采用成熟運動方案,設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

用 途:IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗
在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設(shè)計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設(shè)備自動化水平。
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