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PM175L真空等離子清洗機
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編號 內容 規格參數
1 機臺整機規格 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm
2 真空室規格 550(W)×635(H)×535(D)mm
3 電極板規格 進口鋁電極532(L)×412(W)mm
4 控制系統 觸摸屏+PLC控制
5 真空測定系統 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統 精確質量流量控制計 MFC
7 氣體路數 2路進氣,1路放空
8 等離子發生器 500W&1KW等離子體發生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
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