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PM175L真空等離子清洗機(jī)
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編號(hào) 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm
2 真空室規(guī)格 550(W)×635(H)×535(D)mm
3 電極板規(guī)格 進(jìn)口鋁電極532(L)×412(W)mm
4 控制系統(tǒng) 觸摸屏+PLC控制
5 真空測(cè)定系統(tǒng) 皮拉尼電阻式真空計(jì)
6 氣體計(jì)量系統(tǒng) 精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC
7 氣體路數(shù) 2路進(jìn)氣,1路放空
8 等離子發(fā)生器 500W&1KW等離子體發(fā)生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
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