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PM80L真空等離子處理機(jī)
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編號(hào) 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格 PR60L:920mm(W)× 960mm(D)×1720mm(H)
PR80L:920mm(W)×1030mm(D)×1720mm(H)
2 真空室規(guī)格 PR60L: 進(jìn)口鋁 400(W)×400(H)×400(D)mm
PR80L: 進(jìn)口鋁 450(W)×400(H)×450(D)mm
3 電極板規(guī)格 PR60L:6層平板式電極板(380(W)×310(D)mm)
PR80L:8層平板式電極板(420(W)×360(D)mm)
4 控制系統(tǒng) 觸摸屏+PLC控制
5 真空測(cè)定系統(tǒng) 皮拉尼電阻式真空計(jì)
6 氣體計(jì)量系統(tǒng) 精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC
7 氣體路數(shù) 2路進(jìn)氣,1路放空
8 等離子發(fā)生器 500W&1KW等離子體發(fā)生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點(diǎn):高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

用 途:適用于攝像頭及行業(yè),手機(jī)制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
1、攝像頭、指紋識(shí)別行業(yè):軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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