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PM216L真空等離子處理機
PM216L
特點:高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持。

用途:適用于攝像頭及行業,手機制造、半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。
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編號 內容 規格參數
1 機臺整機規格 1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)
2 真空室規格 進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm
3 電極板規格 10層平板式電極板(560(W)×500(D)mm)可定制
4 控制系統 觸摸屏+PLC控制
5 真空測定系統 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統 精確質量流量控制計 MFC
7 氣體路數 2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2
8 等離子發生器 500W&1KW等離子體發生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點:高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持。

用 途:適用于攝像頭及行業,手機制造、半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。
1、印制線路板行業:高頻板表面活化,多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污,軟板補強前活化。
2、半導體IC領域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗;
3、硅膠、塑膠、聚合體領域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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