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PCB用水平等離子處理機PM13A
PM13A
特點:高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

用途:適用于印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
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編號 內(nèi)容 規(guī)格參數(shù)
1 機臺整機規(guī)格 1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm(H)
2 真空室規(guī)格 進(jìn)口合金鋁 1300(W)×1000(H)×1350(D) mm
3 電極板規(guī)格 13層平板式電極板(870mm×610mm)
4 控制系統(tǒng) PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制
5 真空測定系統(tǒng) 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統(tǒng) 精確質(zhì)量流量控制計 MFC
7 氣體路數(shù) 2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2
8 等離子發(fā)生器 10KW等離子體發(fā)生源(40KHz,可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點:高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

用 途:適用于印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
1、印制線路板行業(yè):高頻板表面活化,多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污,軟板補強前活化。
2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化
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