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在線式真空等離子設備-PR-IL05-S
PR-IL05-S
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內置2條軌道,可一次處理2片物料, UPH可達90拼板/小時;
3、所有運動機構均采用成熟運動方案,設備穩定性及故障率得以有效控制。
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編號 內容 規格參數
1 整機規格 L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm(包含FFU及報警指示燈等)
2 進出料方式 流水線全自動進出料
3 放電結構 真空容式輝光放電
4 處理溫度 ≤50℃
5 單次處理載板數 2片
6 載板最大尺寸 (170-270)*(65-85)*(1-5)mm
7 設備產能 理論值≥90載板/小時(依據plasma處理時間15秒計算)
8 凈化防護 百級FFU凈化過濾系統
特點:
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動,有效保證精度,降低塵污;
2、真空腔內置2條軌道,可一次處理2片物料, UPH可達90拼板/小時;
3、所有運動機構均采用成熟運動方案,設備穩定性及故障率得以有效控制。

用 途:IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗
在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規等離子清洗系統相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。
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